เมื่อเทียบกับปั๊มน้ํามันปั๊มสุญญากาศที่ปราศจากน้ํามันมีสุญญากาศในระดับต่ําและอากาศในปริมาณเล็กน้อย แต่มีขนาดเล็กติดตั้งง่ายบํารุงรักษาง่ายเคลื่อนย้ายง่ายไม่สร้างควันน้ํามันและไม่ก่อให้เกิดมลพิษต่อสิ่งแวดล้อมโดยเฉพาะอย่างยิ่งในห้องปฏิบัติการที่มีความต้องการสูง นอกจากนี้ยังเป็นหนึ่งในชิ้นส่วนของอุปกรณ์ที่มีอยู่ในห้องปฏิบัติการเสมอ
การบํารุงรักษาของปั๊มสุญญากาศที่ปราศจากน้ํามัน:
1. เขย่ามอเตอร์เพื่อดูว่าทิศทางของมอเตอร์ถูกต้องหรือไม่
2. หลังจากประกอบใหม่แล้วควรดําเนินการทดลอง โดยทั่วไปจะต้องทํางานเป็นเวลา 2 ชั่วโมงและควรเปลี่ยนน้ํามันสองครั้ง เนื่องจากจะมีสารระเหยบางอย่างในปั๊มสุญญากาศในระหว่างการทําความสะอาดจึงจะถูกนําไปทํางานตามปกติหลังจากการทํางานเป็นปกติ
3. ถ้าเป็นไปได้ให้ทําความสะอาดท่อเพื่อให้แน่ใจว่าท่อไม่มีสิ่งกีดขวาง
4. สตาร์ทมอเตอร์ เมื่อปั๊มสุญญากาศทํางานตามปกติให้เปิดมาตรวัดความดันเต้าเสียบและปั๊มสุญญากาศขาเข้า หลังจากการแสดงความดันที่เหมาะสมจะค่อยๆเปิดวาล์วประตูและตรวจสอบโหลดมอเตอร์ในเวลาเดียวกัน
5.ตรวจสอบท่อปั๊มสุญญากาศและข้อต่อสําหรับความหลวมของ หมุนปั๊มสุญญากาศด้วยมือเพื่อดูว่าปั๊มสุญญากาศมีความยืดหยุ่นหรือไม่
6. ปิดวาล์วประตู, เครื่องวัดความดันเต้าเสียบ, และมาตรวัดสูญญากาศขาเข้าของท่อระบายน้ํา
7. คลายเกลียวปลั๊กผันน้ําของร่างกายปั๊มสุญญากาศและเทการผันน้ํา (หรือการเบี่ยงเบนสารละลาย)
8. เติมน้ํามันหล่อลื่นแบริ่งเข้าไปในตัวแบริ่งสังเกตว่าระดับน้ํามันควรอยู่ที่กึ่งกลางของเครื่องหมายน้ํามันและควรเปลี่ยนน้ํามันหล่อลื่นหรือเสริมน้ํามันให้ทันเวลา
9. พยายามควบคุมการไหลและหัวของปั๊มสุญญากาศน้ําหมุนเวียนภายในช่วงที่ระบุบนป้ายเพื่อให้แน่ใจว่าปั๊มสุญญากาศทํางานและได้รับผลการประหยัดพลังงานที่ดี